6つの技術的強み
ジェット戦闘機の飛行シミュレータ、ダイナミック圧力制御
詳しく見るジェット戦闘機はピトー管にかかる総圧Ptと静圧Psとを計測して、マッハ数や上昇下降速度を演算する事ができます。総圧と静圧のダイナミックな変化をプログラムしてピトー管に入力する事により地上で戦闘機の飛行シミュレーションを行う事ができます。
クライアント業種 | 半導体製造装置、レーザー加工機、プラスチック成型機、自動車部品検査装置、 工作機械、圧力センサ校正装置、液晶パネル製造装置 |
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アクチュエータの特性試験
詳しく見る高速ステップ応答性があり、正確なサイン波や三角波を出力できる640Aシリーズを使用して、ガスで作動するアクチュエータの特性データの採取や良不良の判定などを行なう装置を、簡単に構築する事ができます。
クライアント業種 | 半導体製造装置、レーザー加工機、プラスチック成型機、自動車部品検査装置、 工作機械、圧力センサ校正装置、液晶パネル製造装置 |
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パリソンコントローラなどの定常流を必要とする圧力制御
詳しく見る定常流を流しながらの極限までの安定した制御を可能にする640Aシリーズは、チューブの成型やパリソンの圧力制御に威力を発揮します。
クライアント業種 | 半導体製造装置、レーザー加工機、プラスチック成型機、自動車部品検査装置、 工作機械、圧力センサ校正装置、液晶パネル製造装置 |
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ポリッシャー/CMPの加圧力制御(連成圧制御)
詳しく見る基準圧力発生器クラスの高精度と高速性とを併せ持つ640Aシリーズは、独自に開発してきたフォースバランスのコンセプトと最新の制御テクノロジーにより、0.01kPaの出力圧力を安定して制御する事ができます。
クライアント業種 | 半導体製造装置、レーザー加工機、プラスチック成型機、自動車部品検査装置、 工作機械、圧力センサ校正装置、液晶パネル製造装置 |
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微少の液体流量制御
詳しく見る900シリーズはユニークなフォースバランスコンセプトを元に開発された液体用制御弁です。-50~150℃までの液体の分流や混合ができる910シリーズ。0.1CCPMの液体流量制御や圧力制御ができる940シリーズなどがあります。
クライアント業種 | 半導体製造装置、レーザー加工機、プラスチック成型機、自動車部品検査装置、 工作機械、圧力センサ校正装置、液晶パネル製造装置 |
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