6つの技術的強み

パリソンコントローラなどの定常流を必要とする圧力制御

クライアント業種 半導体製造装置、レーザー加工機、プラスチック成型機、自動車部品検査装置、
工作機械、圧力センサ校正装置、液晶パネル製造装置

定常流を流しながらの極限までの安定した制御を可能にする640Aシリーズは、チューブの成型やパリソンの圧力制御に威力を発揮します。

また、大流量を流しながら最大3MPaまでの出力圧力を制御できる750Aシリーズは、レーザー加工機のアシストガス制御用として開発されており、30kPa以下の出力圧力でも安定した制御が行なえます。