クライアント業種	半導体製造装置、レーザー加工機、プラスチック成型機、自動車部品検査装置、 工作機械、圧力センサ校正装置、液晶パネル製造装置

基準圧力発生器クラスの高精度と高速性とを併せ持つ640Aシリーズは、独自に開発してきたフォースバランスのコンセプトと最新の制御テクノロジーにより、0.01kPaの出力圧力を安定して制御する事ができます。

PCと640Aシリーズとを通信ケーブルにより接続して、応答速度や出力安定性などを簡単にチェックする事もでき、立上げ時の装置の検証を短時間で行なえます。