6つの技術的強み
微少の液体流量制御
クライアント業種 | 半導体製造装置、レーザー加工機、プラスチック成型機、自動車部品検査装置、 工作機械、圧力センサ校正装置、液晶パネル製造装置 |
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900シリーズはユニークなフォースバランスコンセプトを元に開発された液体用制御弁です。-50~150℃までの液体の分流や混合ができる910シリーズ、0.1CCPMの液体流量制御や圧力制御ができる940シリーズなどがあります。
900シリーズはガス圧力で駆動されますので制御流体のライン圧とは別に400kPaのパイロット圧力が必要です。