サイトマップ我々が誇る6つの技術的強みをご覧ください。

ナノビジネスプランテクニック

掲載誌：

ナノテク2005

掲載年月日：

2005年2月

• 空気圧によりナノメータオーダで位置を制御するシリンダの技術コンぺでの報告書です。
  ナノテク2005のコンペで優秀賞を得ました。日本と米国での特許があります。

半導体製造装置における、圧力.位置.温度制御

掲載誌：

技術報告会

掲載年月日：

2003年5月

• 当社で製造する製品を使用した半導体製造装置での応用例の要約です。

フォースモータにより動作するノズル・フラッパ素子とその応用

掲載誌：

技術報告会

掲載年月日：

2005年9月

• ノズルフラッパの基本動作と、それを利用する圧力制御を説明しています。

空気圧によるナノメータポジショニング

掲載誌：

油空圧技術

掲載年月日：

2008年9月

• ミクロンメータポジショニングからナノメータポシショニングに至るまでの、
  当社の技術開発の推移を報告しています。

空気圧アナログリレーによる位置検出および制御

掲載誌：

油空圧技術

掲載年月日：

1981年頃

• 空気圧アナログ演算リレーの原理と、それによる位置検出などを要約しています。