制御系製品
基準圧力発生器
Standard Pressure Generator
S630シリーズ
正圧負圧制御用高精度型
- 供給圧力(一次圧力)を減圧し、出力圧力(二次圧力)を一定に制御します。S630シリーズには超精密圧力制御に必要な全ての機能が内蔵されており、圧力範囲や精度など、用途に最適な内容を選択することができます。
- ローカル設定を行う為の5桁押しボタンスイッチ、アナログリモート設定入力、設定値と実圧力を表示する5桁LED表示など、圧力源と電源とを接続するだけで高精度な圧力制御が実現できます。
標準仕様
モデルナンバ | S6312 | S6313 | ||
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設定圧力*1 | 最小スパン0~5kPa・最大スパン0~2.5MPa | |||
入力信号*2 | 0~5V(0~10V/4~20mA/その他、ご指定ください) | |||
通信機能 | オプション(RS5232C) | |||
供給圧力 | 最大出力+0.05MPa | |||
供給電源 | 24Vdc | |||
接続口径 | 1/4 | 3/8 | ||
出力流量 | 0~200LPM以上 | 0~1000LPM以上 | ||
使用流体 | 空気 | |||
センサ | 圧力センサ内蔵 | |||
入力インピーダンス | 10kΩ以上(電圧入力)/300Ω以下(電流入力) | |||
取付方向 | 任意(取付方向によるドリフトの発生はありません) | |||
制御方式 | 力平衡+PI制御 | |||
消費流量 | 1.5LPM以下(標準型)~5LPM以下(高速型) | |||
重量 | 2.2kg | |||
絶縁抵抗 | 1MΩ以上 | |||
ヒステリシス | ±0.00%以下 | |||
精度*3 | アナログ入力±0.3%〜0.05%以下 ローカル設定±0.3%〜0.05%以下 |
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オリフィス径 | 4mmΦ(1/4)又は11mnΦ(3/8) | |||
応答速度 | 0.1〜0.3sec(無負荷時特性) | |||
材質 | ボディ=ADC12/ダイアフラム=NBR/シール=NBR |
注記
- *1
- 任意に選択可能、出荷仕様の詳細は別紙確定仕様書によります。
- *2
- 併用する圧力センサの精度によります。
*詳細寸法図、特性データなどはお問い合わせください。