制御系製品
ハイパーレギュレータ
Hyper Regulator
640AC、640BCシリーズ
真空連成二次圧制御用、高精度型
- 供給圧力(一次圧力)を減圧し、出力圧力(二次圧力)を一定に制御します。コントローラが内蔵されており、出力圧力ドリフトが補正されます。
- センサ内蔵のA型、センサ外装のB型があります。
- B型には圧力センサのほか流量センサや位置センサなどのアナログ出力センサを接続できます。
- 真空専用型は2方向弁です。排気ポートが必要な場合は連成型をご使用ください。
標準仕様
| モデルナンバ | 640AC1 | 640BC | ||
|---|---|---|---|---|
| 設定圧力 | -0.1～0.3MPa | -0.1～0.3MPa | ||
| 入力信号*1 | 0～5V(0～10V/4～20mA/その他、ご指定ください) | |||
| 供給圧力 | 最大出力スパン+0.05MPa | |||
| 供給電源 | 24VDC | |||
| 接続口径 | 1/8(1/4=モデルナンバの3桁目を1へ変更します) | |||
| 使用流体 | 空気(真空用は外部パイロット型が必要です) | |||
| センサ*2 | 圧力センサ内蔵型(圧力センサ外装型はAをBへ変更します) | |||
| 入力インピーダンス | 10kΩ以上(電圧入力)/300Ω以下(電流入力) | |||
| 取付方向 | 任意(取付方向により±1%以下のドリフトが発生します) | |||
| 制御方式 | 力平衡+APID制御 | |||
| 消費流量 | 1.5LPM以下(標準型)～5LPM以下(高速型) | |||
| 重量 | 0.8kg(連成型=1.4kg) | |||
| 絶縁抵抗 | 1MΩ以上 | |||
| ヒステリシス | ±0.1%以下 | |||
| リニアリティ | ±0.3%以下(併用するセンサによります) | |||
| オリフィス径 | 4mmΦ | |||
| 応答速度 | 0.05sec以下(無負荷時特性) | |||
| 材質 | ボディ=ADC12/ダイアフラム=NBR/シール=NBR | |||
注記
- *1
- モデルナンバの下１桁を変更します。
1=0～5V/2=0～10V/3=4～20mA/5=その他、ご指定ください) - *2
- B型を選択することにより配管抵抗をバイパスし、高速応答性を達成することができます。圧力センサ以外のアナログセンサを併用する場合はセンサ出力をご指示ください。
*詳細寸法図、特性データなどはお問い合わせください。
オプション
- 特殊ダイアフラム：バイトン、テフロンが用意されています。
- 特殊シール：バイトン、テフロン、ポリウレタンが用意されています。
- 真空パイロット仕様：外部パイロットを使用しません。
*オプション仕様の詳細はお問い合わせください。
