高速応答、高分解能、高耐久、高精度、インテリジェントの技術的強みが可能にする超精密制御システム（圧力、流量、混合比、分量比、位置、温度）をご案内します。

気体	圧力	１次圧	少流量	635Bシリーズ
			大流量	735Bシリーズ
		２次圧	少流量	640A/640Bシリーズ※注1 640AC、640BCシリーズ
			大流量	752A、752Bシリーズ※注2 752AC、752BCシリーズ
	流量	少流量		942B
		大流量		944B
		分流弁／混合弁		910Bシリーズ

液体	圧力	１次圧／２次圧	942B
	流量	少流量	942B
		大流量	944B
		分流弁／混合弁	910Bシリーズ

• ※注1　連成圧力が必要な場合は640AC、640BCシリーズをご参照ください。
• ※注2　連成圧力が必要な場合は752AC、752BCシリーズをご参照ください。