6つの技術的強み

ジェット戦闘機の飛行シミュレータ、ダイナミック圧力制御

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ジェット戦闘機はピトー管にかかる総圧Ptと静圧Psとを計測して、マッハ数や上昇下降速度を演算する事ができます。総圧と静圧のダイナミックな変化をプログラムしてピトー管に入力する事により地上で戦闘機の飛行シミュレーションを行う事ができます。

クライアント業種 半導体製造装置、レーザー加工機、プラスチック成型機、自動車部品検査装置、
工作機械、圧力センサ校正装置、液晶パネル製造装置

アクチュエータの特性試験

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高速ステップ応答性があり、正確なサイン波や三角波を出力できる640Aシリーズを使用して、ガスで作動するアクチュエータの特性データの採取や良不良の判定などを行なう装置を、簡単に構築する事ができます。

クライアント業種 半導体製造装置、レーザー加工機、プラスチック成型機、自動車部品検査装置、
工作機械、圧力センサ校正装置、液晶パネル製造装置

パリソンコントローラなどの定常流を必要とする圧力制御

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定常流を流しながらの極限までの安定した制御を可能にする640Aシリーズは、チューブの成型やパリソンの圧力制御に威力を発揮します。

クライアント業種 半導体製造装置、レーザー加工機、プラスチック成型機、自動車部品検査装置、
工作機械、圧力センサ校正装置、液晶パネル製造装置

ポリッシャー/CMPの加圧力制御(連成圧制御)

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基準圧力発生器クラスの高精度と高速性とを併せ持つ640Aシリーズは、独自に開発してきたフォースバランスのコンセプトと最新の制御テクノロジーにより、0.01kPaの出力圧力を安定して制御する事ができます。

クライアント業種 半導体製造装置、レーザー加工機、プラスチック成型機、自動車部品検査装置、
工作機械、圧力センサ校正装置、液晶パネル製造装置

微少の液体流量制御

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900シリーズはユニークなフォースバランスコンセプトを元に開発された液体用制御弁です。-50~150℃までの液体の分流や混合ができる910シリーズ。0.1CCPMの液体流量制御や圧力制御ができる940シリーズなどがあります。

クライアント業種 半導体製造装置、レーザー加工機、プラスチック成型機、自動車部品検査装置、
工作機械、圧力センサ校正装置、液晶パネル製造装置